聚酰亚胺P84-光刻机压环主要有以下用途:
聚酰亚胺P84-光刻机压环是光刻机内部一个重要的部件。在光刻的过程中,它起到了固定和密封的作用。它可以将光刻掩膜版或者其他需要精确定位的光学元件紧紧地固定在特定位置。这就像是给这些精密部件一个稳定的“座位”,保证它们在曝光等光刻工序过程中不会出现位移,从而确保光刻图案的精准度。
而且,压环的密封作用也很关键。它能够防止外界的灰尘、杂质等污染物进入光刻机内部的关键光学和光刻工作区域。因为在光刻时,这些污染物哪怕是极其微小的颗粒,都可能会对光刻精度产生严重的干扰,就像一粒沙子可能会破坏一块精美的手表的运转一样。